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石英舟、石墨舟到位检测

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行业痛点与需求

     太阳能电池生产时,需要使用扩散炉、氧化炉等设备对硅片进行扩散,氧化反应,处理完毕后,石英舟携带硅片从炉中离开,需要检测确保舟到位后,机械手准确抓取。

     使用澳门·威斯尼斯wns888入口激光位移传感器对石英舟、石墨舟位置距离进行到位检测,针对石英磨砂透光的材质可精准测量,可长期适应85工况,在热工艺设备处依旧稳定检测,位置准确度可达0.5mm,满足实际生产需求。

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